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       K-SPEED是一种用于模拟等离子体刻蚀轮廓的仿真软件，通过综合考虑对干法刻蚀具有本质影响的物理和化学效应，实现高效求解，准确预测刻蚀轮廓及与其相关的弯曲，颈缩，蚀刻自停止，聚合物钝化等现象。应用范围：

• 等离子体刻蚀中晶圆表面反应分析。
• 三维纳米结构中离子/中性粒子纳米尺度模拟。
• 等离子体刻蚀中三维刻蚀轮廓时变预测。

      K-0DPLASMA是一种批量等离子体仿真软件，采用零维空间方法对等离子体基本属性实现准确预测。 K-0DPLASMA模拟中可综合考虑在实际环境下（包含功率、压力和气体流量等因素）等离子处理过程中的离子流、离子入射角、等离子密度等相关参数。应用范围：

• 基于流体模型实现零维等离子体分析。
• 批量等离子体属性（离子类型、电子密度和离子密度信息）和鞘层分析。
• 准确预测不同环境下的等离子体参数。